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場發射掃描式電子顯微鏡
( Field Emission Scanning Electron Microscope- FE-SEM )




一、儀器介紹

現況:正常運作(預計94年4月對外開放)
放置地點:凝態中心地下室B105室
所屬級數:A級 50% / B級 50%
負責人:林麗瓊 研究員




廠牌:JEOL
型號:JSM-6500

Mode:
(1) Scanning Electron Image (SEI)
(2) Back Scattering (BS)

Cathode Luminescence:
UV-Visible: 200nm ~ 900nm
IR: 800nm ~ 1700nm

Monochromator:
UV-Visible: 0nm ~ 600nm
IR: 960nm ~ 3800nm

Resolution:
UV-Visible: 0.5nm
IR: 1.2nm
Accelerating Voltage: 0.5 到 30 kV
Magnification: x 10 到 500,000

電子數引致電流系統 (Electron Beam Induced Current -EBIC )
廠牌:Klock
型號:nanoprobe
Resolution of step motor: 2 nm
Output Voltage:100mV ~11V,
Current range:0.1 mA ~1pA



二、申請服務及使用辦法

請以電話或e-mail至儀器相關人員洽詢使用。




三、儀器相關人員

儀器負責教授林麗瓊 研究員 (02)33665249 chenlc@ccms.ntu.edu.tw
儀器負責管理人林夏玉 小姐(02)33665103hylin@phys.ntu.edu.tw




 
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