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場發射掃描式電子顯微鏡
( Field Emission Scanning Electron Microscope- FE-SEM )
 一、儀器介紹
現況：正常運作(預計94年4月對外開放)
放置地點：凝態中心地下室B105室
所屬級數：A級 50% / B級 50%
負責人：林麗瓊 研究員
廠牌：JEOL
型號：JSM-6500
Mode:
(1) Scanning Electron Image (SEI)
(2) Back Scattering (BS)
Cathode Luminescence:
UV-Visible: 200nm ~ 900nm
IR: 800nm ~ 1700nm
Monochromator:
UV-Visible: 0nm ~ 600nm
IR: 960nm ~ 3800nm
Resolution:
UV-Visible: 0.5nm
IR: 1.2nm
Accelerating Voltage: 0.5 到 30 kV
Magnification： x 10 到 500,000
電子數引致電流系統 (Electron Beam Induced Current -EBIC )
廠牌：Klock
型號：nanoprobe
Resolution of step motor: 2 nm
Output Voltage:100mV ~11V,
Current range:0.1 mA ~1pA
二、申請服務及使用辦法
請以電話或e-mail至儀器相關人員洽詢使用。
三、儀器相關人員
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