Pumping Station 操作程序

Pumping Station Block Diagram

圖1 Pumping Station 全圖

　

開機程序

1.      將 ACT 200T (Turbo pump controller), ACS 1000 (Vacuum gauge controller), 及電磁閥 (電磁閥通電時閥門開啟，可容氣體通過)接通電源。注意洩氣閥此時勿通電 (洩氣閥通電時閥門開啟)。

2.      將 Turbo pump controller 及 Vacuum gauge controller 背面之電源開關打開(撥到1)。[圖二] 此時 Vacuum gauge controller 上會顯示真空計讀到之壓力(單位為 torr，一大氣壓 = 760 torr)， Turbo pump controller 面板則會顯示目前 turbo pump內葉片的轉速(右上角)及狀態(下排)。[圖三]

3.      確定電磁閥、Valve 1、Inline valve 均已開啟，並確定洩氣閥此時為關閉的。

4.      打開 oil pump 電源開關，啟動 oil pump，壓力應該迅速降到 ~10^-1 torr以下。

5.      確定壓力低於 ~10^-2 torr 以後，按ACT 200T面板上的 Start打開 turbo pump，此時顯示面板上的 RPM 數會增加，此時壓力會快速下降，大約數分鐘後 turbo pump的轉速會達到 27000RPM，顯示面板上會顯示Pump At Speed

6.      當壓力 ~ 1x10^-4 torr 時，有時會因為真空計的燈絲 degas 而造成壓力上升，又因切換 gauge 而造成壓力顯示上下跳動(約在1x10^-5 ~ 5x10^-3 torr 間跳動)，大約要經過 ~40 min.，壓力顯示才能漸漸達到穩定值。

Note: 真空計在大氣中放得越久，需要 degas 的時間就越長，造成壓力值的跳動也越大。

圖二 controller 的背板及電源開關

圖三 controller 啟動時的面板顯示

　

關機程序

1.      如果確定Cryostat 內部要回復大氣壓力，務必先確定 Cryostat 系統溫度已經回到室溫 (實驗結束後約需半天以上時間回溫)。切記不可以在低溫之下破真空，否則會造成系統損壞！！

2.      先將 Inline valve關閉。

3.      按ACT 200T面板上的 Stop關閉 turbo pump，此時顯示面板上的 RPM 數會減少，表示 turbo pump 的旋轉葉片正在減速，大約 20 ~ 30 分鐘後轉速為 0 RPM，turbo pump 完全停止。此時壓力大約回升至 ~10^-3 torr.

4.      將電磁閥關閉 (電磁閥斷電) 以免油氣倒吸，然後再將Oil pump 電源關閉.

5.      洩氣閥通電 (洩氣閥通電時閥門開啟)，使電磁閥至 Inline valve 間的真空腔回復到大氣壓力。

6.      電磁閥通電，使 Oil pump 端也回到大氣壓力。

7.      慢慢將 Inline valve 轉開，空氣進入Cryostat，使系統回復到大氣壓力。